Основы проектирования интегральной электроники и фотоники
(ИУ)

Рассмотрены вопросы создания современных устройств твердотельной электроники, фотоники, микросистемной техники в интегральном исполнении. Особое внимание уделено конструкции интегральных устройств, реализующих логические функции, принципам их работы. Также рассмотрены основные технологии, используемые при производстве интегральных устройств и методы контроля их параметров.